분석에 있어서 「물」은 가장 잘 사용되는 시약이고 용매이다. LC/MS나 ICP/MS 등의 미량분석에는 분석용수로서 상당히 고순도의 초순수가 필요하다.

 

일반적인 초순수장치는 증류수, 역침투수 등을 원수로 하고, 활성탄, 이온교환수지 및 필터를 조합시켜서 정제하고 있지만, 분석용 초순수장치에는 더욱 고도처리로서 단파장 자외선(UV) 램프를 탑재하고 있다.

순수한 물(이론 초순수)의 비저항치는 18.24 MΩ?㎝라고 알려져 있지만, 얻어지는 초순수의 수질은 비저항치 18.2 MΩ?㎝ 이상, 총유기탄소(TOC: Total Organic Carbon) 5ppb 이하이다.

초순수장치의 고성능화와 보급에 의하여 고순도의 물은 용이하게 얻어지기에 이르렀다. 현재는, 실험실용의 초순수장치로서도 미량유기물 분석용에 TOC를 1 ppb, 미량원소분석용에 거의 대부분의 원소를 0.1 ppb 미만까지 저감시킨 초순수가 얻어지고 있다.

그러나 최고의 수질을 계속 유지하기 위해서는 채수하고 있는 초순수의 수질을 적절하게 모니터링 하는 것이 중요하다. 초순수의 모니터링은, 원래 반도체 제조분야에 있어서 개발된 경위도 있으며, 비저항치를 이용하여 이온의 측정에 의하여 수행되었다.

 

그 후, HPLC 등의 유기물 분석용도로 확대되었고, 1990년대 이후는 실험실용 초순수장치에도 TOC 모니터가 채용되고 있다. 최근에는 보다 적절한 수질관리를 목적으로 실시간 모니터링법을 채용하는 경향이 있다.

초순수장치의 사용자에게 장치에 대한 문제점을 물으면, 10명 중의 9명은 이구동성으로 「수질의 문제는 없다. 러닝코스트가 높다」라고 대답한다. 따라서 초순수장치의 문제점은 소모품 가격이 너무나 높든지, 혹은 소모품의 교환빈도가 많은 것이다. 물론, 이들의 문제도 초순수장치의 메이커로서 솔선해서 처리해야 할 문제인 것은 틀림이 없다.