[일본] 반도체 장비용 플라즈마 평가 도구 상품화

일본 국립연구개발법인 신에너지･산업기술 종합개발기구(NEDO)는 플라즈마 처리 효과를 쉽게 시각화하는 반도체 제조 장비용 평가 도구인 플라즈마 표시기을 개발하고 2017년 1월에 상용화할 예정이라고 밝혔다. NEDO의 신에너지 벤처 기술 혁신사업의 지원을 받아 ㈜사쿠라 크레파스는 플라즈마에 대한 높은 변색 성능과 고 내열성을 가진 착색제를 개발했다고 발표하였다. 플라즈마 처리의 평가에는 광학 측정과 프로브에 의한 전기적 평가 방법이 일반적이지만, 각가 분포를 평가하기에는 한계가 있었다.

이번에 개발된 착색제는 무기 재료를 주성분으로 한 착색제로, 플라즈마 처리 전은 하얀색 막이었으나 처리 후에는 노란색으로 변화되는 등 플라즈마 처리 강도에 따라 변색 정도가 변화하게 된다. 또한 기존의 착색제는 200도에 내열성이 있는 반면, 개발된 착색제는 450도의 가열에도 변색되지 않는 높은 내열성을 가지고 있다. 이로 인해 변색 정도에서 플라즈마 처리 효과를 시각적으로 판별할 수 있어 측정 시간을 단축되었으며, 플라즈마의 불균일 요인을 시각적으로 판단할 수 있게 되었다.

[출처 = 녹색기술정보시스템(www.greenplatform.re.kr) / 2016년 12월 21일]