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[초록]
오존 가스를 출력하기 위한 복수의 수단을 갖는 제어 수단을 부가시킨 오존 발생기 유닛의 소형화를 도모한 오존 발생 유닛 및 상기 오존 발생 유닛을 얻는 것을 목적으로 한다. 그리고, 본 발명에서, 가스 배관 집적 블록(30)은 복수의 내부 배관 경로(R30a 내지 R30f)를 가지며, 이들 복수의 내부 배관 경로와, 오존 발생기(1), 제어 수단(MFC(3) 가스 필터(51) 및 APC(4)), 원료 가스 공급구(14), 오존 가스 출력구(15) 및 냉각수 입출구(13A, 13B)가 이어짐에 의해, 원료 가스 공급구로부터 APC를 통하여 오존 가스 발생기에 이르는 원료 가스 입력 배관 경로, 및 오존 발생기로부터 가스 필터, 오존 농도계(5), MFC(3)를 통하여 오존 가스 출력구에 이르는 오존 가스 출력 배관 경로가 일체화한 유닛으로 형성된다.
대표청구항
소정의 공급 유량, 농도로 설정한 오존 가스를 오존 처리 장치에 공급하는 오존 발생 유닛(7X, 7Y)으로서, 오존 가스를 발생하는 오존 발생기(1)와, 상기 오존 발생기에 공급하는 전력을 제어하는 오존 전원(2)과, 상기 오존 발생기에 관련된 제어 수단(3 내지 5, 51)을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 오존 발생기에 입력되는 원료 가스 유량(Q)을 제어하는 매스 플로 컨트롤러(MFC)(3)를 포함하는 유량 검출·유량 조정 수단, 상기 오존 발생기가 출력하는 오존 가스에 대해 불순물이나 이물을 제거하는 처리를 행하는 가스 필터 수단(51), 상기 오존 발생기 내의 압력인 내부 압력을 자동 제어하는 오토 프레셔 컨트롤러(APC)(4)를 포함하는 압력 검출·압력 조정 수단, 및 상기 오존 발생기가 출력하는 오존 가스의 오존 농도치를 검출하는 오존 농도계(5)를 포함하는 오존 농도 검지 수단중, 적어도 2개의 수단을 가지며, 상기 오존 발생기에 외부로부터 원료 가스를 공급하기 위한 원료 가스 공급구(14)와, 상기 오존 발생기로부터 상기 제어 수단의 적어도 일부를 통하여 얻어지는 오존 가스를 외부에 출력하는 오존 가스 출력구(15)와, 외부로부터 얻어지는 냉각수를 상기 오존 발생기에 공급 및 배출하기 위한 냉각수 입출구(13A, 13B)를 더 구비하고, 상기 오존 발생 유닛은, 상기 오존 발생기, 상기 오존 전원, 상기 제어 수단, 상기 원료 가스 공급구, 상기 오존 가스 출력구 및 상기 냉각수 입출구를 집약하여 일체화 구조로 형성한 것을 특징으로 하는 오존 발생 유닛.
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오존 발생 유닛 및 오존 가스 공급 시스템.pdf
