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[ÀϺ»] MEMS ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©¿¡ ÀÇÇÑ 10%ÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à È¿°ú ½ÇÁõ
À̸§ °ü¸®ÀÚ waterindustry@hanmail.net ÀÛ¼ºÀÏ 2015.02.06 Á¶È¸¼ö 223
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[ÀϺ»] MEMS ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©¿¡ ÀÇÇÑ 10%ÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à È¿°ú ½ÇÁõ
 

- ±×¸° MEMS ¼¾¼­·Î ½º¸¶Æ®»çȸ¸¦ ½ÇÇö -

NEDO¿Í ±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕ NMEMS±â¼ú¿¬±¸±â±¸´Â ¹«¼±Åë½Å ±â´É, ÀÚ¸³Àü¿ø±â´É, ÃÊÀú¼ÒºñÀü·Â ±â´ÉÀ» žÀçÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ ±×¸° MEMS(¹Ì¼ÒÀü±â±â°è½Ã½ºÅÛ) ¼¾¼­¸¦ °³¹ßÇÏ°í, ÀÌ ¼¾¼­¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇÏ¿© ¼±ÁøÀûÀÎ ¿¡³ÊÁö°ü¸®ÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à È¿°ú¿¡ ´ëÇØ ½ÇÁõ½ÇÇèÀ» ¼öÇàÇÑ °á°ú, 10% ÀÌ»óÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à È¿°ú¸¦ È®ÀÎÇÏ¿´´Ù. ½º¸¶Æ®»çȸÀÇ ½ÇÇöÀ» À§ÇØ »çȸ ÀÎÇÁ¶ó, ³ó¾÷, °Ç°­ÀÇ·áºÐ¾ß µî¿¡ÀÇ ÀÀ¿ëÀÌ ±â´ëµÈ´Ù.

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NEDO¿Í ±â¼ú¿¬±¸Á¶ÇÕ NMEMS ±â¼ú¿¬±¸±â±¸´Â 2011³âºÎÅÍ ±×¸° ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛ ±â¼ú°³¹ß ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡¼­ ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¼¾¼­ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ °øÅëÀûÀÎ °úÁ¦ÀÎ ¹«¼±Åë½Å ±â´É, ÀÚ¸³Àü¿ø±â´É ¹× ÃÊÀú¼ÒºñÀü·Â ±â´ÉÀ» žÀçÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ ±×¸° MEMS ¼¾¼­ÀÇ °³¹ß°ú °³¹ßÇÑ ¼¾¼­¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛÀÇ ±¸Ãà ¹× ±× µµÀÔ¿¡ ÀÇÇÑ ¼±ÁøÀûÀÎ ¿¡³ÊÁö°ü¸®ÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à È¿°ú¿¡ °üÇØ ½ÇÁõ½ÇÇèÀ» ¼öÇàÇÏ¿´´Ù.

±× °á°ú, ¼¾¼­ ÀÚ½ÅÀÇ ±×¸°È­, ¿¡³ÊÁöÀý¾àÈ­(ÃʼҺñÀü·ÂÈ­, ¼ÒÇüÈ­)¶ó´Â »õ·Î¿î ÄܼÁÆ®·Î ¿¡³ÊÁöÀý¾àÇü ¼¾½Ì, ¿¡³ÊÁöÀý¾àÇü Åë½Å¹æ½Ä, ¹Ì¼Ò¾Ð·Âº¯È­¸¦ Æ®¸®°Å·Î¼­ µ¿ÀÛÇÏ´Â À̺¥Æ® µå¸®ºì(Event Driven) ±¸µ¿, Ç÷º½Ãºí Àü¿ø µîÀÇ ¿ä¼Ò±â¼úÀ» ÅëÇÕÇÑ ¼¾¼­¸¦ °³¹ßÇÏ¿´´Ù. ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î´Â ¹«¼±Åë½Å ±â´É, ÀÚ¸³Àü¿ø ±â´É ¹× ÃÊÀú¼ÒºñÀü·Â ±â´ÉÀ» žÀçÇÑ (1) Àü·ù, ÀÚ°è¼¾¼­, (2) ¸ÕÁö·® ¼¾¼­, (3) °¡½º(ÀÌ»êȭź¼Ò, Èֹ߼ºÀ¯±âÈ­ÇÕ¹°) ³óµµ ¼¾¼­, (4) Àû¿Ü¼± ¾Ù¸® ¼¾¼­ÀÌ´Ù.

¶ÇÇÑ ÀÌ·¯ÇÑ ¼¾¼­¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ© ½Ã½ºÅÛÀ» Á¡Æ÷, »ç¹«½Ç ¹× Á¦Á¶ÇöÀå µî¿¡ ±¸ÃàÇÏ¿© ȯ°æ°èÃø ¹× ¿¡³ÊÁö ¼Òºñ·® µîÀÇ ÆÄ¾Ç ¹× ¿¡³ÊÁö ¼Òºñ·®ÀÇ Á¦¾î¿¡ ÀÇÇØ 10% ÀÌ»óÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à È¿°ú¸¦ ½ÇÁõ½ÇÇè¿¡ ÀÇÇØ È®ÀÎÇÏ¿´´Ù.

À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ ¼¾¼­ ¹× ½ÇÁõ½ÇÇè ³»¿ëÀº ´ÙÀ½°ú °°´Ù.
(1) ±×¸° MEMS ¼¾¼­ÀÇ °³¹ß
ÀÚ¸³Àü¿ø(¹ßÀü·® 150uW)À¸·Î ±¸µ¿, ¹«¼±Åë½ÅÇÏ´Â ±×¸° MEMS ¼¾¼­(¼ÒºñÀü·Â 100uW) Áß¿¡¼­ Àü·ù, ÀÚ°è, ¸ÕÁö, Àû¿Ü¼± ¾Ù¸® ¼¾¼­¸¦ ¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î ½ÇÁõÇöÀå¿¡ ÅõÀÔÇÏ¿© ÆíÀÇÁ¡, »ç¹«½Ç, °øÀå µî ½ÇÁõȯ°æ¿¡¼­ ¿¡³ÊÁöÀý¾à °¡½ÃÈ­¸¦ À§ÇÑ ¿ø°Ý ÀÚµ¿ µ¥ÀÌÅÍ ¼öÁý µµ±¸·Î¼­ ½Ç¿ëÈ­ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÈ´Ù. °¡½º ³óµµ¼¾¼­µµ ÇöÀç ½ÇÁõÇöÀå¿¡ ÅõÀÔÇÏ¿© ±â´É °ËÁõÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù.

(2) ¼¾¼­ ³×Æ®¿öÅ©½Ã½ºÅÛ ½ÇÁõ½ÇÇè¿¡ ÀÇÇÑ °¡½ÃÈ­ ¹× ÃÖÀûÈ­ÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à È¿°ú
±×¸° MEMS ¼¾¼­¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¿¡³ÊÁöÀý¾à ½ÇÁõ½ÇÇèÀ¸·Î¼­ ÆíÀÇÁ¡ ¾à 2,000°³ Á¡Æ÷¿¡ ¹«¼± Àü·ù¼¾¼­, ¹«¼±È¯°æ(¿Â½Àµµ) ¼¾¼­, Áý½Å±â(concentrator)¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ¿© ¼³ºñ±â±¸ÀÇ »óÅÂ, ¼³Ä¡È¯°æ, ¿öÅ©ÀÎ(walk-in) µµ¾îÀÇ °³Æó»óȲ µîÀ» °¡½ÃÈ­ ¹× °³¼±ÇÔÀ¸·Î½á 10%ÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à È¿°ú°¡ ¾ò¾îÁø´Ù´Â °ÍÀ» ½ÇÁõÇÏ¿´´Ù. ÀÌ »è°¨·®Àº ÀϹݰ¡Á¤ ¾à 8õ ¼¼´ëÀÇ ¼ÒºñÀü·Â¿¡ ÇØ´çÇÑ´Ù.

¶ÇÇÑ Áß¼Ò±Ô¸ð(500m2 ¹Ì¸¸)ÀÇ »ç¹«½Ç¿¡ ÀÚ¸³Àü¿øÀ¸·Î ±¸µ¿, ¹«¼±¼Û½ÅÇÏ´Â Àû¿Ü¼± ¾Ù¸® ¼¾¼­, Áý½Å±â¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ¿© Ãþ ÀüüÀÇ ¿ÂµµºÐÆ÷, »ç¶÷ À§Ä¡ÀÇ °¡½ÃÈ­¿¡ ±âÃÊÇÑ ¿¡³ÊÁöÀý¾à Áö½Ã(°øÁ¶, ȯ±â, â¹® °³Æó)ÀÇ ½Ç½Ã¿¡ ÀÇÇØ 10% ÀÌ»óÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à È¿°ú°¡ ¾ò¾îÁø´Ù´Â °ÍÀ» ½ÇÁõÇÏ¿´´Ù.

(±×¸² 1) ÇÁ·ÎÁ§Æ®ÀÇ Àüü»ó
(±×¸² 2) °³¹ßÇÑ ±×¸° MEMS ¼¾¼­
(±×¸² 3) ±×¸° ¼¾¼­¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÆíÀÇÁ¡ÀÇ ¿¡³ÊÁöÀý¾à ¸ð´ÏÅ͸µ ½Ã½ºÅÛ
 
[Ãâó = KISTI ¹Ì¸®¾È ¡º±Û·Î¹úµ¿Çâºê¸®ÇΡ»/ 2015³â 2¿ù 6ÀÏ]

[¿ø¹®º¸±â]

MEMS«»«ó«µー«Í«Ã«È«ïー«¯ªËªèªë10£¥ªÎàý«¨«Í効Íýªò実証

NEDOªÈÐüâú研ϼðÚùêNMEMSÐüâú研ϼѦϰªÏ¡¢ÙíàÊ÷×ãáѦÒö¡¢í»Ø¡ï³ê¹Ñ¦Òö¡¢õ±î¸á¼Þ¨ï³ÕôѦÒöªò÷³î°ª·ª¿úÔãæîܪʫ°«êー«óMEMS£¨Ú°á³ï³気ѦÌþ«·«¹«Æ«à£©«»«ó«µーªòËÒ発ª¹ªëªÈªÈªâªË¡¢ª³ªÎ«»«ó«µーªòéĪ¤ª¿«»«ó«µー«Í«Ã«È«ïー«¯«·«¹«Æ«àªòÏ°õé¡¢à»òäîÜ«¨«Í«ë«®ー«Þ«Í«¸«á«ó«ÈªÎàý«¨«Í効ÍýªËªÄª¤ªÆ実証実験ªòú¼ªÃª¿ªÈª³ªí¡¢10£¥ì¤ß¾ªÎàý«¨«Í効Íýªòü¬ì㪷ªÞª·ª¿¡£

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