[ÀϺ»] ½Å¿¡Ã÷ÈÇаø¾÷, Àü·Â ¼ÒÀÚ ±¸ÇöÀ» À§ÇÑ QST¢ç ±âÆÇ »ç¾÷ ÃßÁø¿¡ ¹ÚÂ÷
»çȸ ¹®Á¦ ÇØ°á ±â¿©¿¡ ¸ñÇ¥
½Å¿¡Ã÷ÈÇаø¾÷(º»»ç: µµÄì, »çÀå: »çÀÌÅä ¾ß½ºÈ÷ÄÚ(Yasuhiko Saitoh))Àº ¼º´É ¹× ¿¡³ÊÁö È¿À²ÀÌ ³ôÀº GaN(ÁúÈ °¥·ý) Àü·Â ¼ÒÀÚ¸¦ »çȸÀûÀ¸·Î ±¸ÇöÇϴµ¥ QST¢ç(Qromis Substrate Technology, Å¥·Î¹Ì½º ±âÆÇ ±â¼ú) ±âÆÇ*1ÀÌ ÇʼöÀûÀÎ ¼ÒÀç¶ó ÆÇ´ÜÇÏ°í ÀÌ·¯ÇÑ Á¦Ç°ÀÇ °³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ¸ç ½ÃÀå Ãâ½Ã¸¦ ¼µÎ¸£°í ÀÖ´Ù.
GaN°ú µ¿ÀÏÇÑ ¿ÆØâ°è¼ö(coefficient of thermal expansion, CTE)¸¦ °®µµ·Ï ¼³°èµÈ QST¢ç ±âÆÇÀº GaN ¿¡ÇÇÅØ¼È ÃþÀÇ ÈÚ Çö»ó°ú Å©·¢ »ý¼ºÀ» ¾ïÁ¦ÇØ, °á°úÀûÀ¸·Î Á÷°æÀÌ Å©°í Ç°ÁúÀÌ ÁÁÀº µÎ²¨¿î GaN ¿¡ÇÇÅÃ¼È ¼ºÀåÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼ºÀ» »ì¸°´Ù¸é ¸¶ÀÌÅ©·ÎLED µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¸¶ÀÌÅ©·ÎLED ¼ºÀå°ú °°Àº ºÐ¾ß»Ó ¾Æ´Ï¶ó ÃÖ±Ù ±Þ¼Óµµ·Î ¹ßÀüÇÏ°í ÀÖ´Â Àü·Â ¼ÒÀÚ, RF ¼ÒÀÚ(5G ¹× 5G ÀÌ»ó)¿¡µµ Àû¿ëµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
½Å¿¡Ã÷ÈÇÐÀº QST¢ç ±âÆÇ ÆǸŠ¿Ü¿¡µµ °í°´ÀÇ ¿äû¿¡ µû¶ó GaN ¼ºÀå QST¢ç ±âÆÇÀ» ÆǸÅÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÇöÀç 6ÀÎÄ¡¿Í 8ÀÎÄ¡ Á÷°æÀÇ ±âÆÇ ¶óÀξ÷À» °®Ãß°í ÀÖÀ¸¸ç, Á÷°æÀÌ 12ÀÎÄ¡ÀÎ ±âÆǵµ °³¹ß ÁßÀÌ´Ù. 2021³âºÎÅÍ ÀϺ» ¹× Àü ¼¼°è ¼ö¸¹Àº °í°´À» ´ë»óÀ¸·Î Àü·Â ¼ÒÀÚ, RF ¼ÒÀÚ, LEDÀÇ °¢ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡ ´ëÇÑ »ùÇà Æò°¡¸¦ ÁøÇàÇØ ¼ÒÀÚ¸¦ °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ Àü·Â ¼ÒÀÚÀÇ °æ¿ì, 650V¿¡¼ 1800V¿¡ À̸£´Â ¹üÀ§¿¡¼ ¼ÒÀÚ Æò°¡¸¦ Áö¼ÓÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Áö±Ý±îÁö ½Å¿¡Ã÷ÈÇÐÀº QST¢ç ±âÆÇÀ» °³¼±ÇÏ°íÀÚ ¿©·¯ Â÷·Ê ½ÃµµÇØ ¿Ô´Ù. ÇÑ °¡Áö ¿¹·Î, Á¢ÇÕ °øÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â °áÇÔÀ» Å©°Ô ÁÙ¿© °íÇ°ÁúÀÇ QST¢ç ±âÆÇ °ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÏ°Ô µÆ´Ù. ¶Ç ¸¹Àº °í°´ÀÌ ¿äûÇØ ¿Â Èĸ· GaN¿¡ ´ëÇØ ÃÖÀûÈµÈ ¹öÆÛÃþÀ» °®Ãá ÅÛÇø´ ±âÆÇ °ø±ÞÀ» ÃßÁøÇÑ °á°ú, 10¥ìm ÀÌ»ó µÎ²²ÀÇ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¿¡ÇÇÅÃ¼È ¼ºÀåÀ» ½ÇÇöÇß´Ù. »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, QST¢ç ±âÆÇÀ» »ç¿ëÇØ Èĸ· GaN ¼ºÀåÀÌ 20¥ìm¸¦ ÃÊ°úÇÏ°Ô µÆ°í, Àü·Â ÀåÄ¡¿¡¼ 1800VÀÇ Ç׺¹ Àü¾Ð*2 À» ´Þ¼ºÇÏ´Â µî ¿©·¯ ¼º°øÀûÀÎ °á°ú°¡ âÃâ ¹× º¸°íµÇ¾ú´Ù.
°Ô´Ù°¡ ½Å¿¡Ã÷ÈÇаú ¿ÀÅ° Àü±â°ø¾÷(Oki Electric Industry Co., Ltd)Àº Å©¸®½ºÅÐ Çʸ§ º»µù(CFB)*3 ±â¼úÀ» °øµ¿ »ç¿ëÇØ QST¢ç ±âÆÇ¿¡¼ GaNÀ» ¹Ú¸®ÇÏ°í ´Ù¸¥ Àç·á·Î ¸¸µé¾îÁø ±âÆÇ¿¡ Á¢ÇÕÇÏ´Â ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. Áö±Ý±îÁö GaN Àü·Â ¼ÒÀÚ ´ëºÎºÐÀº Ãø¸é ¼ÒÀÚ¿´Áö¸¸, CFB ±â¼úÀº QST¢ç ±âÆÇ Æ¯¼ºÀÇ È°¿ëÀ¸·Î Àý¿¬ QST¢ç ±âÆÇ¿¡¼ °íÇ°Áú GaNÀÇ µÎ²¨¿î ÃþÀ» ¹Ú¸®ÇØ ´ëÀü·ù¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ¼öÁ÷Çü Àü·Â ¼ÒÀÚ¸¦ ±¸ÇöÇß´Ù. ½Å¿¡Ã÷ÈÇÐÀº GaN ¼ÒÀÚ¸¦ Á¦Á¶ÇÏ´Â °í°´¿¡°Ô QST¢ç ±âÆÇ ¶Ç´Â GaN ¼ºÀå QST¢ç ±âÆÇÀ», ¿ÀÅ° Àü±â°ø¾÷Àº ÆÄÆ®³Ê ¶Ç´Â ¶óÀ̼±½º¸¦ ÅëÇØ CFB ±â¼úÀ» Á¦°øÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. µÎ ȸ»ç´Â ÀÌ¿Í °°Àº ¹æ½ÄÀ¸·Î ¼öÁ÷Çü Àü·Â ¼ÒÀÚÀÇ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù.
½Å¿¡Ã÷ÈÇÐÀº ÀÌ·¯ÇÑ °³¹ß ¼º°ú ¹× °í°´ÀÇ »ç¾÷ ÇöȲ ¹®ÀǸ¦ Åä´ë·Î °í°´ÀÇ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·½ÃÅ°±â À§ÇØ »ý»ê·®À» ²ÙÁØÈ÷ ´Ã¸± °èȹÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
À̸¦ ÅëÇØ ¹Ì·¡ »çȸ¿¡ ²À ÇÊ¿äÇÑ Æ¯¼ºÀ» Áö´Ñ GaN ¼ÒÀÚ°¡ »çȸÀûÀ¸·Î È°¿ëµÇµµ·Ï ´õ¿í ÈûÀ» º¸ÅÂ¾î ¿¡³ÊÁö¸¦ È¿À²ÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Áö¼Ó °¡´ÉÇÑ »çȸ¸¦ ½ÇÇöÇÏ´Â µ¥ À̹ÙÁöÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù.
½Å¿¡Ã÷ÈÇÐÀº 2023³â 9¿ù 6ÀϺÎÅÍ 8ÀϱîÁö ´ë¸¸¿¡¼ °³ÃֵǴ SEMICON ´ë¸¸(SEMICON Taiwan)¿¡¼ ÀÌ·¯ÇÑ Á¦Ç°ÀÇ °³¹ß ÁøÇà »óȲÀ» ¹ßÇ¥ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
*1: QST¢ç ±âÆÇÀº Å©·Î¹Ì½º(Qromis, Inc.)(º»»ç: Ķ¸®Æ÷´Ï¾Æ »êŸŬ¶ó¶ó(Santa Clara, California), ÃÖ°í°æ¿µÀÚ ¼À ¹Ù¼¼¸®(Cem Basceri))°¡ GaN ¼ºÀå Àü¿ëÀ¸·Î °³¹ßÇÑ º¹ÇÕ ¼ÒÀç ±âÆÇÀ¸·Î, 2019³â ½Å¿¡Ã÷ÈÇп¡ ¶óÀ̼±½º°¡ ºÎ¿©µÆ´Ù. QST¢ç´Â ¹Ì±¹ ÁÖ½Äȸ»ç Å©·Î¹Ì½º°¡ ¼ÒÀ¯ÇÑ µî·Ï»óÇ¥ÀÌ´Ù(µî·Ï ¹øÈ£ 5277631).
*2: ´ÙÀ½ imec ¹ßÇ¥(2021³â 4¿ù) ÂüÁ¶.https://www.imec-int.com/en/press/imec-and-aixtron-demonstrate-200-mm-gan-epitaxy-aix-g5-c-1200v-applications-breakdown-excess
*3: CFB ±â¼úÀº ±âÆÇ¿¡¼ GaN ¿¡ÇÇÅØ¼È ÃþÀ» ¹Ú¸®ÇÏ´Â ±â¼ú·Î, ¿ÀÅ° Àü±â°ø¾÷ÀÇ µî·Ï»óÇ¥ÀÓ.
À¥»çÀÌÆ®: http://www.shinetsu.co.jp
|